輝光放電是一種低壓放電現(xiàn)象。工作壓力一般低于10巴。它的基本結(jié)構(gòu)是將兩塊平行的電極板放在一個封閉的容器中，利用產(chǎn)生的電子激發(fā)中性原子或分子。當(dāng)受激粒子從受激態(tài)落到基態(tài)時，它們將以光的形式釋放能量。 
        輝光放電光譜法是一種可以直接分析固體樣品的分析技術(shù)。雖然無法在原子水平上進(jìn)行表面分析，但輝光放電光譜儀在表面和深表面分析方面具有非常顯著的優(yōu)勢，而且相對便宜，因此可以非常快速地進(jìn)行分析，并非常方便地進(jìn)行定量。

GCMS也可用于微光譜分析。 
基本工作原理 

        輝光放電光譜儀屬于發(fā)射光譜分析儀器，與其他發(fā)射光譜儀類似。其基本工作原理基本相同，即使用光源使被測樣品元件處于激發(fā)狀態(tài)。當(dāng)樣品元素的外部電子從高能狀態(tài)返回低能狀態(tài)時，發(fā)射特征光譜。通過元素發(fā)射的特征光譜分析樣品中包含的元素。 

        作為輝光放電儀器的光源，輝光放電燈在RF輝光放電光源中具有兩個電極。直徑為4mm的管狀銅電極是其中之一，它是陽極，陽極接地。而樣品充當(dāng)陰極以維持由高頻（RF）電源感應(yīng)的RF電勢。當(dāng)?shù)蛪簹宄淙胼x光放電燈時，燈中會自發(fā)產(chǎn)生少量氬離子。在射頻電位的作用下，少量氬離子穿過陽極-陰極間隙，引起高速振蕩。加速的氬離子與氬原子碰撞，產(chǎn)生更多的氬離子和電子，從而形成等離子體，即輝光放電。 

        來自樣品的光被光學(xué)系統(tǒng)聚焦和分離，并到達(dá)高動態(tài)范圍探測器HDD。高動態(tài)范圍檢測器HDD接收光信號。光信號被轉(zhuǎn)換成電信號并發(fā)送到計算機(jī)，以供電子控制系統(tǒng)處理。當(dāng)逐層測試表面時，可以同時給出元素濃度與深度之間的關(guān)系。